半導体結晶の液相エピタキシャル成長のその場観察

著者

• 栗林, 一彦 クリバヤシ, カズヒコ
• 佐藤, 英一 サトウ, エイイチ

書誌事項

半導体結晶の液相エピタキシャル成長のその場観察

研究代表者 栗林一彦 ; 研究分担者 佐藤英一

[栗林一彦], 1990.3

タイトル読み

ハンドウタイ ケッショウ ノ エキソウ エピタキシャル セイチョウ ノ ソノバ カンサツ

注記

平成元年度科学研究費補助金 一般研究(B) 研究成果報告書

研究課題番号63460203

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA53826035
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [相模原]
• ページ数/冊数: 33 p
• 大きさ: 26 cm