マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧
著者
書誌事項
マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧
フジ・テクノシステム, 2000.6
復刻版
- タイトル別名
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マイクロメカニカルシステム : 実用化技術総覧
- タイトル読み
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マイクロ メカニカル システム ジツヨウカ ギジュツ ソウラン
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注記
マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧 1992年3月刊の復刻
絶版本の小部数書籍印刷システムDTPによる復刻本
索引: p697-714
付:参考・引用文献
内容説明・目次
内容説明
本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。
目次
- 第１編 基礎論（要素技術；材料）
- 第２編 微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
- 第３編 マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
- 第４編 マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）
「BOOKデータベース」 より