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ナノエレクトロニクスと計算科学

白石賢二, 伊藤智徳, 影島博之共著 ; 電子情報通信学会編

電子情報通信学会 , コロナ社(発売), 2001.11

Other Title

Computational science in nanoelectronics

Title Transcription

ナノエレクトロニクス ト ケイサン カガク

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Description and Table of Contents

Description

本書は、原子レベルで材料・プロセスを理論設計する際に必要な計算科学の基礎について解説したものである。

Table of Contents

  • 第1章 はじめに(ナノデバイスと計算科学;「ナノスケールの計算科学的手法」で何が分かるか)
  • 第2章 計算方法(経験的原子間ポテンシャル;動的計算手法 ほか)
  • 第3章 計算科学によって得られる物質の基本的諸性質(構造安定性;熱力学的安定性 ほか)
  • 第4章 ナノエレクトロニクスへの応用(シリコンの酸化現象と酸化膜の膜質向上への原子レベル計算によるアプローチ;エピタキシャル成長への原子レベル計算によるアプローチ)

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Details

  • NCID
    BA54203286
  • ISBN
    • 4885521831
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京,東京
  • Pages/Volumes
    v, 150p
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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