ナノエレクトロニクスと計算科学
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ナノエレクトロニクスと計算科学
電子情報通信学会 , コロナ社(発売), 2001.11
- Other Title
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Computational science in nanoelectronics
- Title Transcription
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ナノエレクトロニクス ト ケイサン カガク
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University of Tsukuba Library, Library on Library and Information Science
549.8-Sh8210002008163
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Description and Table of Contents
Description
本書は、原子レベルで材料・プロセスを理論設計する際に必要な計算科学の基礎について解説したものである。
Table of Contents
- 第1章 はじめに(ナノデバイスと計算科学;「ナノスケールの計算科学的手法」で何が分かるか)
- 第2章 計算方法(経験的原子間ポテンシャル;動的計算手法 ほか)
- 第3章 計算科学によって得られる物質の基本的諸性質(構造安定性;熱力学的安定性 ほか)
- 第4章 ナノエレクトロニクスへの応用(シリコンの酸化現象と酸化膜の膜質向上への原子レベル計算によるアプローチ;エピタキシャル成長への原子レベル計算によるアプローチ)
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