デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

Author(s)

    • 黒岩, 紘一 クロイワ, コウイチ

Bibliographic Information

デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

黒岩紘一研究代表者

黒岩紘一, 1999.3

Other Title

科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 : 平成7年度〜平成9年度

Title Transcription

デジタル MOCVD ホウ ニ ヨル PZT キョウユウデンタイ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

[課題番号] : 07555418

Details

  • NCID
    BA55788480
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [小金井]
  • Pages/Volumes
    122p
  • Size
    30cm
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