マイクロマシン : 異種要素を集積化した小形で高度な働きをするシステム
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マイクロマシン : 異種要素を集積化した小形で高度な働きをするシステム
産業技術サービスセンター, 2002.2
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マイクロ マシン : イシュ ヨウソ オ シュウセキカ シタ コガタ デ コウドナ ハタラキ オ スル システム
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注記
科学技術振興事業団の主催による「異分野研究者フォーラム:マイクロマシン」(2001.6), 「異分野研究者交流ワークショップ:バイオマイクロシステム」(2001.8)の発表内容をまとめたもの
内容説明・目次
目次
- 第1部 マイクロマシン(プロセス関係;情報機器関連MEMS;光関係;マイクロプローブと情報記録;マイクロ物理;マイクロエネルギー源;センサ材料;マイクロマシン材料;マイクロマシンの実用化)
- 第2部 バイオマイクロシステム(集積化分析チップ;分子検出;DNA関係;ナノバイオロジー;神経インターフェイス)
「BOOKデータベース」 より