エピタキシャル成長のメカニズム
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エピタキシャル成長のメカニズム
（シリーズ : 結晶成長のダイナミクス / 西永頌, 宮澤信太郎, 佐藤清隆シリーズ編集委員, 3）
共立出版, 2002.5
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エピタキシャル セイチョウ ノ メカニズム
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文献: 各節末
Description and Table of Contents
Description
本巻では、エピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、エピタキシャル成長にとって最も基本となり重要なテーマを取り上げ解説している。成長方法は、最も基本となる液相エピタキシャル成長、気相エピタキシャル成長、分子線エピタキシャル成長の３方法を取り上げた。
Table of Contents
- １ 基本概念（エピタキシャル成長の基礎；結晶成長に影響を与える因子；成長モード）
- ２ エピタキシャル成長の熱力学（固液平衡からの成長（ＬＰＥ）；固気平衡からの成長）
- ３ 結晶成長のカイネティクス（成長表面のカイネティクス；溶液成長における溶質元素の拡散；気相成長の物質輸送効果）
- ４ 基板の表面状態とエピタキシャル成長（面方位とエピタキシャル成長；微傾斜面とエピタキシー；サーファクタントを利用した成長）
- ５ ヘテロエピタキシャル成長（ヘテロエピタキシャル成長と格子整合；ヘテロ構造の応力・歪み）
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