Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization

著者

• Madou, Marc J.

書誌事項

Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization

Marc J. Madou

CRC Press, c2002

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA57154278
• ISBN:
  • 0849308267
• LCCN: 2001043273
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, Fla.
• ページ数/冊数: 723 p., [16] p. of plates
• 大きさ: 29 cm
• 分類:
  • LCC : TK7836.M33
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Design and construction
  • LCSH : Machining
  • LCSH : Microelectronic packaging
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications