トコトンやさしい薄膜の本
著者
書誌事項
トコトンやさしい薄膜の本
（B&Tブックス, . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ）
日刊工業新聞社, 2002.8
- タイトル別名
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薄膜の本 : トコトンやさしい
- タイトル読み
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トコトン ヤサシイ ハクマク ノ ホン
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注記
参考書: p159
参考文献: p158-159
内容説明・目次
内容説明
本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。
目次
- 第１章 人類の夢を実現する薄膜
- 第２章 薄膜作成に欠かせない真空
- 第３章 薄膜の構造と性質、その作成法
- 第４章 蒸着法で作る薄膜
- 第５章 スパッタ法で作る薄膜
- 第６章 気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜
- 第７章 めっき薄膜
- 第８章 エッチングと平坦化の技術
「BOOKデータベース」 より