電子顕微鏡研究者のためのFIB・イオンミリング技法Q&A : ナノテクノロジーの推進役

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電子顕微鏡研究者のためのFIB・イオンミリング技法Q&A : ナノテクノロジーの推進役

平坂雅男, 朝倉健太郎共編

アグネ承風社, 2002.9

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FIB・イオンミリング技法Q&A : 電子顕微鏡研究者のための

Title Transcription

デンシ ケンビキョウ ケンキュウシャ ノ タメ ノ FIB イオン ミリング ギホウ Q&A : ナノテクノロジー ノ スイシンヤク

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Description and Table of Contents

Description

ＦＩＢやイオンミリング技法の情報を渇望する声に応じるために、実際に電子顕微鏡に携わる研究者や技術者から疑問点を抽出し、その疑問に応えるＱ（質問）＆Ａ（回答）の形式で、技術情報をまとめた。これから電子顕微鏡を始める人、あるいは始めて間もない人に対しても理解しやすいように編集を行った。さらに本書は、ＦＩＢやイオンミリング技法を用いる研究者や技術者が現場での参考書として利用するばかりでなく、知っておくべき内容も含めて基礎から応用までを網羅した。

Table of Contents

  • 第１章　基礎
  • 第２章　ＦＩＢ（基礎；前処理；ノウハウ　ほか）
  • 第３章　イオンミリング（基礎；前処理；ノウハウ　ほか）
  • 第４章　その他
  • 付録

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