光学薄膜と成膜技術
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光学薄膜と成膜技術
アグネ技術センター, 2002.9
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コウガク ハクマク ト セイマク ギジュツ
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Note
参考文献: 各章末
薄膜光学原理・製作と計測に関する参考文献と会議: p448-449
Description and Table of Contents
Description
光学薄膜は、光通信、ディスプレイ、光学デバイスなどの応用において大きく発展することが期待される重要な分野である。その基礎から応用までを網羅した本書は、台湾国立中央大学李正中教授によって書かれ、台湾で出版、好評により版を重ねている。次世代光学薄膜の成膜技術の開発を行ってきた株式会社アルバックは、社内に本書の翻訳プロジェクトを組み、このたび日本語版発行がようやく実現した。この分野では数少ない実践的な教科書として役立つこと必至の一冊である。
Table of Contents
- 基礎理論
- 光学薄膜設計の図解法
- ビームスプリッタ
- 高反射ミラー
- エッジフィルタ
- バンドストップフィルタ
- バンドパスフィルタ
- 斜入射のときの薄膜
- 光学薄膜の作製方法
- 光学薄膜の特性と作製技術の進歩
- 膜厚の均一性及び膜厚の監視
- 薄膜の工学特性の測定
- 工学薄膜材料
- 工学フィルタの成膜例
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