プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製
著者
書誌事項
プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製
[小久見善八], 2002.3
- タイトル別名
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平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告書
- タイトル読み
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プラズマ アシスト CVD ニ ヨル グラファイト ルイジ タンソ ハクマク ノ サクセイ
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