Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの作製

著者

• 宮崎, 修一 ミヤザキ, シュウイチ

書誌事項

Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの作製

宮崎修一研究代表者

[宮崎修一], 2002.3

タイトル別名

科学研究費補助金(基盤研究B)研究成果報告書 : 平成10年度-平成12年度

タイトル読み

Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ

注記

英文併載

課題番号: 10555210

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA59008980
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [つくば]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm