Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの作製
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書誌事項
Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの作製
[宮崎修一], 2002.3
- タイトル別名
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科学研究費補助金(基盤研究B)研究成果報告書 : 平成10年度-平成12年度
- タイトル読み
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Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ
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注記
英文併載
課題番号: 10555210