書誌事項

Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium

editors, J. Ruzyllo ... [et al.]

(Proceedings / [Electrochemical Society], v. 2001-26)

Electrochemical Society, c2002

タイトル別名

Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VII

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  • Proceedings

    [Electrochemical Society]

    Electrochemical Society

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA59009371
  • ISBN
    • 1566773598
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Pennington, N.J.
  • ページ数/冊数
    x, 374 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
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