書誌事項

微細加工技術

高分子学会編

(ポリマーフロンティア21シリーズ, 13)

エヌ・ティー・エス, 2002.9

  • 基礎編

タイトル読み

ビサイ カコウ ギジュツ

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注記

(社)高分子学会主催のセミナー(2002年4月16日開催)を講演録として編集したもの

奥付の編集: エヌ・ティー・エス編集企画部

各章末: 参考文献

応用編は固有の標題をもつ別書誌<BA62862404>

収録内容

  • 基礎編: 近接場光学を用いたナノフォトニクスとそのための微細加工 / 大津元一 [執筆]
  • フェムト秒レーザーによる超微細光造形法 / 河田聡 [執筆]
  • 自己組織化的手法による微細加工 / 益子信郎 [執筆]
  • マイクロリキッドプロセスを用いたデバイスの創成と将来展望 / 下田達也 [執筆]
  • 連続型EUVリソグラフィ開発と樹脂感光性評価 / 東博純 [執筆]
  • 新しい露光方法に対応したレジスト材料の開発 / 緒方寿幸 [執筆]

関連文献: 1件中  1-1を表示

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