電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

Author(s)

    • 岡村, 総一郎 オカムラ, ソウイチロウ

Bibliographic Information

電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

研究代表者

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10-11年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2000.3

Other Title

平成10年度-平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

デンシセン ユウキ ハンノウ オ リヨウシタ フクゴウ サンカブツ ノ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

課題番号10650348

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Details

  • NCID
    BA59357651
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [生駒]
  • Pages/Volumes
    72 p.
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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