電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

著者

• 岡村, 総一郎 オカムラ, ソウイチロウ

書誌事項

電子線誘起反応を利用した複合酸化物の微細加工法に関する研究

研究代表者

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10-11年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2000.3

タイトル別名

平成10年度-平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

タイトル読み

デンシセン ユウキ ハンノウ オ リヨウシタ フクゴウ サンカブツ ノ ビサイ カコウホウ ニ カンスル ケンキュウ

注記

課題番号10650348

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA59357651
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [生駒]
• ページ数/冊数: 72 p.
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401