超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

Author(s)

• 服部, 賢 ハットリ. ケン

Bibliographic Information

超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

研究代表者服部賢

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成12-13年度）

[奈良先端科学技術大学院大学], 2002.3

Other Title

平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

Title Transcription

チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ

Note

課題番号12640313

• NCID: BA59408956
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [生駒]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30 cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121