軽イオン・スパッタリングのダイナミカル・シミュレーション

著者

• 剣持, 貴弘 ケンモツ, タカヒロ

書誌事項

軽イオン・スパッタリングのダイナミカル・シミュレーション

剣持貴弘 [著]

[剣持貴弘], 1998

タイトル別名

博士論文

総合研究大学院大学数物科学研究科核融合科学専攻博士論文

タイトル読み

ケイイオン スパッタリング ノ ダイナミカル シミュレーション

注記

総合研究大学院大学数物科学研究科核融合科学専攻博士論文・平成11年3月24日授与(甲第393号理学)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA59439836
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [土岐]
• ページ数/冊数: 110枚
• 大きさ: 30cm