光マイクロマシン
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光マイクロマシン
オーム社, 2002.11
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ヒカリ マイクロ マシン
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参考文献: 各部末
Description and Table of Contents
Description
本書では、最新の光マイクロマシンを例にしながら、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や新しい光マイクロマシンの提案ならびに設計ができるための基礎を与えることができることに主眼をおいている。
Table of Contents
- 第１部 光マイクロマシン（光スイッチ、ミラーアレイ、減衰器；ディスプレイ、スキャナ；スペクトロメータ、波長可変光学素子 ほか）
- 第２部 光マイクロマシン光学（光の反射・屈折；干渉；回折 ほか）
- 第３部 材料、ファブリケーション、パッケージング（光学素子；ファブリケーション；表面理工学 ほか）
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