CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications

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CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications

D. Lange, O. Brand, H. Baltes

（Microtechnology and MEMS）

Springer-Verlag, c2002

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注記

Includes bibliographical references (p. [131]-140) and index

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA60423276
  • ISBN
    • 3540431438
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Berlin
  • ページ数/冊数
    viii, 142 p.
  • 大きさ
    25 cm
  • 親書誌ID
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