マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術

Author(s)

• マイクロマシン技術総覧編集委員会 マイクロ マシン ギジュツ ソウラン ヘンシュウ イインカイ
• 樋口, 俊郎 ヒグチ, トシロウ

Bibliographic Information

マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術

マイクロマシン技術総覧編集委員会編

産業技術サービスセンター, 2003.1

Other Title

マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術

Title Transcription

マイクロマシン ギジュツ ソウラン : ナノテクノロジー ノ キバン ギジュツ

Note

編集委員長: 樋口俊郎

参考文献: 節末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 総論　マイクロテクノロジーへの展開
• 第１編　基礎編（マイクロ理工学；マイクロ材料）
• 第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工・ビーム加工；エッチング；ＰＶＤ、ＣＶＤ；ＬＩＧＡプロセス；マイクロ光造形）
• 第３編　マイクロマシンの要素（総論—ナノ・マイクロマシンを設計する；マイクロメカニズム；マイクロアクチュエータ；マイクロマニピュレーション；マイクロ計測）
• 第４編　マイクロマシン応用例（マイクロアクチュエータの応用；マイクロ要素・デバイス；マイクロセンサデバイス；マイクロシステム；その他）

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Details

• NCID: BA60685862
• ISBN:
  • 4915957403
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 753, 6p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
  • NDC9 : 530.36
• Subject Headings:
  • BSH : マイクロマシン