マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術
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書誌事項
マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術
産業技術サービスセンター, 2003.1
- タイトル別名
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マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術
- タイトル読み
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マイクロマシン ギジュツ ソウラン : ナノテクノロジー ノ キバン ギジュツ
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注記
編集委員長: 樋口俊郎
参考文献: 節末
内容説明・目次
目次
- 総論 マイクロテクノロジーへの展開
- 第1編 基礎編(マイクロ理工学;マイクロ材料)
- 第2編 微細加工技術(機械加工;マイクロ電気加工・ビーム加工;エッチング;PVD、CVD;LIGAプロセス;マイクロ光造形)
- 第3編 マイクロマシンの要素(総論—ナノ・マイクロマシンを設計する;マイクロメカニズム;マイクロアクチュエータ;マイクロマニピュレーション;マイクロ計測)
- 第4編 マイクロマシン応用例(マイクロアクチュエータの応用;マイクロ要素・デバイス;マイクロセンサデバイス;マイクロシステム;その他)
「BOOKデータベース」 より