薄膜工学
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薄膜工学
丸善, 2003.3
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ハクマク コウガク
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Note
監修: 金原粲
文献: 項目末
Description and Table of Contents
Description
薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。
Table of Contents
- 1 総論(薄膜の機能と応用;薄膜形成技術;膜成長過程とエピタキシー;薄膜の歴史)
- 2 薄膜の作製法(真空蒸着;スパッタリング法;化学気相成長法)
- 3 薄膜の機能(半導体薄膜;光学薄膜;有機薄膜;誘電体薄膜;磁性薄膜)
- 4 薄膜の性質と応用(膜厚測定法;薄膜の機械的・力学的性質;薄膜の化学的性質;電子デバイスへの応用)
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