Lecture notes on principles of plasma processing

著者

• Chen, Francis F.
• Chang, Jane P.

書誌事項

Lecture notes on principles of plasma processing

Francis F. Chen and Jane P. Chang

Kluwer Academic/Plenum Publishers, c2003

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA61392702
• ISBN:
  • 0306474972
• LCCN: 2002040665
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: ix, 208 p
• 大きさ: 28 cm
• 付属資料: 1 CD-ROM
• 分類:
  • DC21 : 621.044
• 件名:
  • LCSH : Plasma engineering
  • LCSH : Plasma chemistry
  • LCSH : Plasma dynamics