Lecture notes on principles of plasma processing
Francis F. Chen and Jane P. Chang
Kluwer Academic/Plenum Publishers, c2003
BB21550022
茨城大学 附属図書館 工学部分館分
427.6:Lec110506374
OPAC
宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所 図書室
621.039||C 518060090
宇宙航空研究開発機構 本社図書館
621.039||325904
大阪大学 附属図書館 理工学図書館
18500006806
金沢大学 附属図書館研究室
427.6:C5180300-53477-9
北見工業大学 図書館図
427.54||C3300005404820
九州大学 理系図書館
003212005001495
京都大学 桂図書館図
427.6||L||1200027942801
高知工科大学 附属情報図書館
521700081093
神戸大学 附属図書館 自然科学系図書館
427-6-51030200205816
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