事例で学ぶDLC成膜技術
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事例で学ぶDLC成膜技術
日刊工業新聞社, 2003.5
- Other Title
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Diamond like carbon
DLC成膜技術 : 事例で学ぶ
- Title Transcription
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ジレイ デ マナブ DLC セイマク ギジュツ
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Note
参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
本書はＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）皮膜に係わる技術伝承書である。すなわち、本書の第２編の事例編では、新しいＤＬＣ皮膜の創製によって、執筆者それぞれが自らの技術的課題を巧みに解決した点に焦点を絞って解説している。したがって、本書はＤＬＣについての基礎知識を得る技術入門書であると同時に、モノづくりの現場で活躍している現役の技術者のＤＬＣに関する貴重な「体験記」であり、「教訓記」なのである。
Table of Contents
- 第１編 ＤＬＣ成膜技術とは何か（ＤＬＣ膜とは何か；ＤＬＣ膜の特性；ＤＬＣ成膜技術の工業的応用と開発課題）
- 第２編 ＤＬＣを用いた応用事例（ＵＢＭスパッタ法によるＤＬＣ膜の特性とその応用；ハードＤＬＣ・メタルＤＬＣ・ナノカーボンの特徴と応用；金属含有ＤＬＣ（Ｍｅ‐ＤＬＣ）の工業応用；ＵＢＭＳ法によるＤＬＣ膜の特性と用途展開；精密機械部品におけるＤＬＣ膜の適用事例 ほか）
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