フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用
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フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用
(ポリマーフロンティア21シリーズ, 18 . 微細加工技術||ビサイ カコウ ギジュツ ; 応用編)
エヌ・ティー・エス, 2003.7
- タイトル読み
-
フォトニクス ・ エレクトロニクス ・ メカトロニクス エノ オウヨウ
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注記
(社)高分子学会主催のセミナー(2003年3月7日開催)を講演録として編集したもの
各章末: 参考文献
内容説明・目次
目次
- 1 SPMを利用したナノスケールでの加工
- 2 高分子材料の微細加工技術と光導波路への適用
- 3 立体マイクロマシニングの光MEMSへの応用
- 4 マイクロ光造形法を利用した医療デバイス・化学ICチップへの応用
- 5 インプリント技術の現状と展望
- 6 有機半導体トランジスタの最近の進展
「BOOKデータベース」 より