表面分析:SIMS : 二次イオン質量分析法の基礎と応用
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書誌事項
表面分析:SIMS : 二次イオン質量分析法の基礎と応用
アグネ承風社, 2003.7
- タイトル別名
-
Practical surface analysis. Volume2: Ion and neutral spectroscopy
- タイトル読み
-
ヒョウメン ブンセキ SIMS : ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ノ キソ ト オウヨウ
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注記
引用文献: 各章末
Practical surface analysis.Volume2:Ion and neutral spectroscopy 原著第2版の抄訳
内容説明・目次
目次
- 表面におけるSIMS(新規解説文)
- SIMSの装置
- スパッター深さ方向分析の基本概念
- スパッタリングを用いた定量分析法:二次イオンおよびスパッター中性粒子質量分析法(抄訳)
- ダイナミックSIMSとそのマイクロエレクトロニクスへの応用
- スタティックSIMS(無機材料への応用;有機材料の表面分析)
「BOOKデータベース」 より