マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

著者

• 藤田, 博之 フジタ, ヒロユキ

書誌事項

マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之著

工業調査会, 2003.8

タイトル読み

マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

半導体の微細加工技術を利用して、数μｍという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。

目次

• 第１章　マイクロ・ナノ機械の発展の歴史
• 第２章　マイクロ・ナノ機械の特徴と利点
• 第３章　マイクロ・ナノ機械の応用分野
• 第４章　光技術への応用
• 第５章　バイオ・化学分野への応用
• 第６章　マイクロ・ナノマシーニング（製作技術）
• 第７章　マイクロアクチュエータ

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA6332701X
• ISBN:
  • 4769371179
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 232p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン