マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用
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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用
工業調査会, 2003.8
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マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
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参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
半導体の微細加工技術を利用して、数μｍという超小型の機械部品やモーターなどを、シリコン基板上に製作することが可能になった。本書は、ミクロンレベルからナノ領域にいたる微小機械についてのさまざまな技術展開と可能性を示す。
Table of Contents
- 第１章 マイクロ・ナノ機械の発展の歴史
- 第２章 マイクロ・ナノ機械の特徴と利点
- 第３章 マイクロ・ナノ機械の応用分野
- 第４章 光技術への応用
- 第５章 バイオ・化学分野への応用
- 第６章 マイクロ・ナノマシーニング（製作技術）
- 第７章 マイクロアクチュエータ
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