イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

Author(s)

• 平尾, 孝 ヒラオ, タカシ
• 岩本, 信也 イワモト, ノブヤ
• 尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ
• 鯉沼, 秀臣 コイヌマ, ヒデオミ
• 笹部, 馨 ササベ, カオル
• 松波, 弘之 マツナミ, ヒロユキ
• 水野, 博之 ミズノ, ヒロユキ

Bibliographic Information

イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員

イオン工学研究所, 2003.5

Other Title

ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック

Title Transcription

イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ

Note

監修: 水野博之

その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之

参考文献あり

• NCID: BA63759670
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 枚方
• Pages/Volumes: xviii, 1126p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.1
  • NDLC : ND351
• Subject Headings:
  • NDLSH : イオン