イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

Bibliographic Information

イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員

イオン工学研究所, 2003.5

Other Title

ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック

Title Transcription

イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ

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Note

監修: 水野博之

その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之

参考文献あり

Details

  • NCID
    BA63759670
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    枚方
  • Pages/Volumes
    xviii, 1126p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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