ナノフォトニクスへの挑戦
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ナノフォトニクスへの挑戦
米田出版 , 産業図書 (発売), 2003.9
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ナノフォトニクス エノ チョウセン
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Note
その他の著者: 納谷昌之, 高橋淳一, 日暮栄治
監修: 大津元一
著者ヨミは推定による
Description and Table of Contents
Description
光をナノ寸法にすること。信念と勇気をもって、これを可能にした人たちの挑戦のストーリーを紹介。
Table of Contents
- 第1章 ナノフォトニクス事始め(ナノフォトニクスとは何か?;近接場光を使えばできる ほか)
- 第2章 微細計測、分析への挑戦(ナノ領域には何がある?;ナノ領域を光らせる ほか)
- 第3章 極限加工への挑戦(近接場光リソグラフィへの道のり;近接場光リソグラフィを実用技術に—二層レジスト ほか)
- 第4章 高密度記録の限界への挑戦(高密度記録の必要性;では、どうやって高記録密度を実現するか? ほか)
- 第5章 マイクロマシンの限界への挑戦(マイクロマシンの誕生;光技術とマイクロマシン ほか)
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