マイクロ波プラズマの技術

Author(s)

• 電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会 デンキ ガッカイ マイクロハ プラズマ チョウサ センモン イインカイ

Bibliographic Information

マイクロ波プラズマの技術

電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委員会編

オーム社, 2003.9

Title Transcription

マイクロハ プラズマ ノ ギジュツ

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １章　プラズマ生成入門
• ２章　マイクロ波帯のプラズマの発展と特色
• ３章　マイクロ波帯のプラズマ生成の考え方
• ４章　プラズマ生成のモデリングとシミュレーション
• ５章　マイクロ波帯プラズマの実際と応用
• ６章　プラズマ生成のためのマイクロ波技術

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Details

• NCID: BA63829266
• ISBN:
  • 4274197107
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xi, 257p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 427.6
  • NDC9 : 427.6
  • NDLC : MC241
• Subject Headings:
  • BSH : プラズマ
  • BSH : マイクロ波