モアレ干渉法による先端電子デバイスの熱変形解析

著者

• 新川, 和夫 アラカワ, カズオ

書誌事項

モアレ干渉法による先端電子デバイスの熱変形解析

研究代表者 新川和夫

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度）

[九州大学], 2003.3

タイトル別名

平成13年度-平成14年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書(13650091)

タイトル読み

モアレ カンショウホウ ニヨル センタン デンシ デバイス ノ ネツ ヘンケイ カイセキ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA6411814X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401