Modelling of microfabrication systems

著者

• Nassar, Raja
• Dai, Weizhong

書誌事項

Modelling of microfabrication systems

Raja Nassar, Weizhong Dai

（Microtechnology and MEMS）

Springer, c2003

注記

Includes bibliographical references (p. [249]-261) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA64230933
• ISBN:
  • 3540002529
• LCCN: 2003050541
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin ; New York
• ページ数/冊数: x, 269 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7836
  • DC21 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics -- Mathematical models
  • LCSH : Integrated circuits -- Mathematical models
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Mathematical models
• 親書誌ID:
  • BA51409718