負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

Author(s)

• 石川, 順三 イシカワ, ジュンゾウ
• 京都大学工学部 キョウト ダイガク コウガクブ

Bibliographic Information

負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

石川順三 研究代表者

[石川順三], 1988.3

Other Title

昭和61・62年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : (課題番号 61460065)

Title Transcription

フ イオン ビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ

Note

京都大学工学部

• NCID: BA64427585
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [京都]
• Pages/Volumes: 70p
• Size: 26cm