多層配線技術の最新動向 : 銅配線/低誘電率膜

著者

• 新宮原, 正三 シングウバラ, ショウゾウ

書誌事項

多層配線技術の最新動向 : 銅配線/低誘電率膜

新宮原正三

（Focus Report, 12）

EDリサーチ社, 2002.11

タイトル読み

タソウ ハイセン ギジュツ ノ サイシン ドウコウ : ドウ ハイセン/ テイ ユウデンリツ マク

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA64742389
• ISBN:
  • 4901790226
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 50枚
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA58398391