原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究
著者
書誌事項
原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度〜平成13年度）
広島大学ナノデバイス・システム研究センター, 2003.3
- タイトル読み
-
ゲンシソウ センタク セイチョウ オ リヨウ シタ チョウビサイ トランジスタ サクセイホウ ノ ケンキュウ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 11450125