トコトンやさしい超微細加工の本

Author(s)

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

Bibliographic Information

トコトンやさしい超微細加工の本

麻蒔立男著

（B&Tブックス, . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ）

日刊工業新聞社, 2004.1

Other Title

超微細加工の本 : トコトンやさしい

Title Transcription

トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン

Note

参考書: p158-159

Description and Table of Contents

Description

超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では“トコトンやさしい”解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。

Table of Contents

• 第１章　ナノテクの中核技術、超微細加工（ナノテクでモノ作りその中核超微細加工；超微細加工の加工法　ほか）
• 第２章　基板作りの基本（基板になるもの；ガラスの基板を作る　ほか）
• 第３章　基板にパターンを転写（光を使った露光；電子ビームで露光　ほか）
• 第４章　薄膜の作り方とその性質（薄膜とその作り方；真空とその単位　ほか）
• 第５章　さまざまな技術で薄膜を作る（蒸着法のソース；レーザアブレーション　ほか）

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Details

• NCID: BA6567423X
• ISBN:
  • 4526052264
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 159p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
• Subject Headings:
  • BSH : 電子工学
  • BSH : ナノテクノロジー
• Parent Bibliography ID:
  • BN12068175