トコトンやさしい超微細加工の本

著者

• 麻蒔, 立男 アサマキ, タツオ

書誌事項

トコトンやさしい超微細加工の本

麻蒔立男著

（B&Tブックス, . 今日からモノ知りシリーズ||キョウ カラ モノシリ シリーズ）

日刊工業新聞社, 2004.1

タイトル別名

超微細加工の本 : トコトンやさしい

タイトル読み

トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン

注記

参考書: p158-159

内容説明・目次

内容説明

超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では“トコトンやさしい”解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。

目次

• 第１章　ナノテクの中核技術、超微細加工（ナノテクでモノ作りその中核超微細加工；超微細加工の加工法　ほか）
• 第２章　基板作りの基本（基板になるもの；ガラスの基板を作る　ほか）
• 第３章　基板にパターンを転写（光を使った露光；電子ビームで露光　ほか）
• 第４章　薄膜の作り方とその性質（薄膜とその作り方；真空とその単位　ほか）
• 第５章　さまざまな技術で薄膜を作る（蒸着法のソース；レーザアブレーション　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA6567423X
• ISBN:
  • 4526052264
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 159p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
• 件名:
  • BSH : 電子工学
  • BSH : ナノテクノロジー
• 親書誌ID:
  • BN12068175