はじめての半導体ナノプロセス

著者

• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

書誌事項

はじめての半導体ナノプロセス

前田和夫著

（ビギナーズブックス, 32）

工業調査会, 2004.2

タイトル読み

ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス

注記

各章末: 参考文献

内容説明・目次

内容説明

ナノテクノロジー時代到来が叫ばれている今日、半導体プロセスの微細化は際限なく続いている。将来的には５０ｎｍ以下がターゲットになっており、半導体プロセスも「ナノプロセス時代」に入る。本書はナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説している。この他にも半導体デバイス、実装技術、製造技術、関連材料、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれている。半導体ナノプロセスを取り巻く全体像がつかめて興味深い。

目次

• 第１章　ナノテクノロジー時代の到来
• 第２章　半導体技術におけるナノテクノロジー
• 第３章　ナノテクノロジー時代の半導体デバイス
• 第４章　半導体ナノプロセスの概要
• 第５章　基本ナノプロセス
• 第６章　複合ナノプロセス
• 第７章　半導体ナノプロセスのこれから

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA6581000X
• ISBN:
  • 4769312253
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 239p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
  • BSH : ナノテクノロジー
• 親書誌ID:
  • BA38795526