スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価
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スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成13〜14年度）
広島大学大学院工学研究科, 2003.3
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スパッタ オヨビ イオン チュウニュウホウ デ サクセイ シタ マイクロマテリアル ノ ドウテキ トクセイ ヒョウカ
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注記
課題番号: 13650090