半導体デバイス : 基礎理論とプロセス技術
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半導体デバイス : 基礎理論とプロセス技術
産業図書, 2004.3
第2版
- タイトル別名
-
Semiconductor devices : physics and technology
- タイトル読み
-
ハンドウタイ デバイス : キソ リロン ト プロセス ギジュツ
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注記
参考文献: 各章末
原著(John Wiley & Sons, c1985)の翻訳
内容説明・目次
内容説明
本書は、最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書である。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際が集積回路に重点をおきつつ述べられている。
目次
- 第1部 半導体物理(エネルギーバンドと熱平衡状態におけるキャリア密度;キャリアの輸送現象)
- 第2部 半導体デバイス(p‐n接合;バイポーラ・トランジスタとその関連デバイス;MOSFETと関連デバイス ほか)
- 第3部 半導体技術(結晶成長とエピタキシィ;薄膜の形成;リソグラフィとエッチング ほか)
「BOOKデータベース」 より