MEMS packaging

著者

• Hsu, Tai-Ran
• INSPEC (Information service)

書誌事項

MEMS packaging

edited by Tai-Ran Hsu

（EMIS processing series / Series advisor B.L. Weiss, no. 3）

INSPEC, Institution of Electrical Engineers, c2004

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA66668287
• ISBN:
  • 0863413358
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: London
• ページ数/冊数: xxix, 275 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microelectronic packaging
• 親書誌ID:
  • BA59159716