光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発

著者

• 南, 和幸 ミナミ, カズユキ

書誌事項

光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発

研究代表者 南和幸

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[山口大学工学部], 2002.3

タイトル読み

ヒカリ MEMS ノ タメ ノ アクチュエータ オ ナイゾウシタ ウゴク ヒカリ ドウハロ ノ カイハツ

注記

研究課題番号:12838003

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA66897717
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [宇部]
• ページ数/冊数: 15p(片面頁付)
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401