量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション
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書誌事項
量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション
（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）
[九州大学], 1997.3
- タイトル別名
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平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書(研究課題番号07650925)
- タイトル読み
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リョウシ ブンシ ドウリキガク ニ ヨル タセイブンケイ CVD ノ ハンノウ カイセキ ト ショキ セイマク シミュレーション
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