ヘテロエピタキシャルダイヤモンド薄膜の合成と新規半導体化プロセスの開発
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ヘテロエピタキシャルダイヤモンド薄膜の合成と新規半導体化プロセスの開発
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度〜平成8年度）
[九州大学], 1997.2
- タイトル別名
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平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 07555240
- タイトル読み
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ヘテロ エピタキシャル ダイヤモンド ウスマク ノ ゴウセイ ト シンキ ハンドウタイカ プロセス ノ カイハツ
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注記
研究分担者:草壁克己ほか