極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築
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極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14-15年度)
佐野伸行, 2004.3
- タイトル別名
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極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築
- タイトル読み
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ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ ノ シキイチ デンアツ バラツキ カイセキ ノ タメノ リサン フジュンブツ モデル ノ コウチク
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注記
研究課題番号: 14550315
研究代表者: 佐野伸行