InGaAs結晶成長用容器の設計
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書誌事項
InGaAs結晶成長用容器の設計
(宇宙開発事業団契約報告, NASDA-CNT 010043)
宇宙開発事業団, 2002.2
- その1-4
- タイトル別名
-
Design of ampoule for InGaAs crystal growth
- タイトル読み
-
InGaAs ケッショウ セイチョウヨウ ヨウキ ノ セッケイ
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注記
作成元: 石川島播磨重工業