摩擦試験におけるトライボロジー特性の再現性検討, 及び種々の二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性の比較
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摩擦試験におけるトライボロジー特性の再現性検討, 及び種々の二硫化モリブデンスパッタ膜のトライボロジー特性の比較
(宇宙航空研究開発機構研究開発資料, JAXA-RM-03-030)
宇宙航空研究開発機構, 2004.3
- タイトル別名
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Data repeatability in friction test and comparison of tribological performance of various sputtered MoS2 films
- タイトル読み
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マサツ シケン ニ オケル トライボロジー トクセイ ノ サイゲンセイ ケントウ オヨビ シュシュ ノ ニリュウカ モリブデンスパッタマク ノ トライボロジー トクセイ ノ ヒカク
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注記
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