イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等)
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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等)
イオン工学研究所 , 日刊工業新聞社 (発売), 2004.10
- タイトル別名
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Ion engineering handbook
ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成加工イオン注入表面改質デバイス応用マイクロマシン等
- タイトル読み
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イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ
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注記
監修: 水野博之
その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
参考文献あり