レーザーマイクロ・ナノプロセッシング
著者
書誌事項
レーザーマイクロ・ナノプロセッシング
シーエムシー出版, 2004.11
- タイトル別名
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Laser micro-nano processing
レーザーマイクロナノプロセッシング
- タイトル読み
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レーザー マイクロ ナノ プロセッシング
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文献あり
内容説明・目次
目次
- 第１編 レーザープロセッシング序論（レーザー装置の開発；レーザープロセッシングの経過 ほか）
- 第２編 レーザー装置の特徴とプロセッシングへの展開（エキシマレーザー；半導体励起固体レーザー ほか）
- 第３編 研究開発の現状と将来産業技術への課題と展望（次世代材料創製；材料加工 ほか）
- 第４編 レーザー応用技術の展望（レーザー発振波長の短波長化；レーザー発振の短パルス化 ほか）
「BOOKデータベース」 より